D.C. magnetron sputtering yöntemiyle bakır oksit filmlerin büyütülmesi
Özet
Bu çalışmada cam alttabakalar üzerinde, ev yapımı (home-made) D.C. magnetron saçtırma tekniği kullanılarak, cuo filmleri büyütülmüş ve bu filmlerin elektriksel iletkenlikleri ve optiksel özellikleri incelenmiştir. Cuo filmlerin büyütülme işlemi , , , ve alt tabaka sıcaklıklarında gerçekleştirilmiştir. Bunların elektriksel özellikleri düşük sıcaklık bölgesinde Ve yüksek sıcaklık bölgesinde Olmak üzere iki ayrı bölgede, optiksel özellikleri ise oda sıcaklığında ölçülmüştür. Cuo filmlerin optiksel enerji bant aralığı, optik soğurum ölçümlerinden, indirek ve direk geçişler için sırasıyla 1,85 ev ve 2,5 ev olarak bulunmuştur. Elektriksel iletkenliğin sıcaklığa bağlı olarak ölçülmesinden cuo filmlerin aktivasyon enerjileri tayin edilmiş ve 0,06-0,27 ev mertebesinde bulunmuştur. Cuo filmlerdeki elektriksel iletkenlik mekanizması Mott’un değişken bölge hoplaması (VRH) ve termiyonik emisyon modeliyle açıklanmıştır. Abstract In this study, it was aimed to investigate the electrical conductivity and optical properties of cuo films, grown on the glass substrates, by means of a home-made D.C. magnetron sputtering technique. The film deposition processes were performed at , , , ve substrate temperatures. The electrical conductivity of the cuo films versus temperature and the optical properties of the cuo films were measured in the low temperature range , high temperature range And at the room temperature, respectively. The optical indirect and direct energy band gap of cuo films were determined from optical absorption measurements as 1,85 and 2,5 ev, respectively. The activation energy of the cuo films were found from the electrical conductivity-temperature measurements as in the range of 0,06-0,27 ev. The electrical conductivity mechanism of cuo films was explained by means of Mott’s variable range hopping (VRH) and termionic emission model.